武漢四方光電科技有限公司采用MEMS技術開發(fā)的熱導探測器TCD開發(fā)成功新型的熱導氣體分析儀和傳感器，包括探測器在內的熱導池大小只有30mm×20mm，該產品可以用來測量H2,Ar,CO2,SO2 等氣體含量。